10月27日，在位于日照高新區(qū)的山東興華半導(dǎo)體有限責(zé)任公司(以下簡(jiǎn)稱“興華半導(dǎo)體”)晶圓生產(chǎn)車間內(nèi)，氧化、光刻、刻蝕、離子注入等各條生產(chǎn)線運(yùn)行有條不紊。

　　“生產(chǎn)車間正處于產(chǎn)能提升階段，目前晶圓月產(chǎn)量達(dá)2萬(wàn)片，出片率和單片良率均處于行業(yè)領(lǐng)先水平�！迸d華半導(dǎo)體總經(jīng)理顏烈藝說(shuō)。晶圓制造是整個(gè)芯片產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵一環(huán)，興華半導(dǎo)體主要致力于晶圓制造、芯片研發(fā)和生產(chǎn)，預(yù)計(jì)今年產(chǎn)值可達(dá)5560萬(wàn)元。

　　作為光子學(xué)與電子學(xué)的交集領(lǐng)域，近年來(lái)，光電產(chǎn)業(yè)開(kāi)啟高速增長(zhǎng)模式。2022年，中國(guó)光電產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)規(guī)模約3000億元，預(yù)計(jì)到2025年將達(dá)到3500億元。隨著數(shù)字化技術(shù)在各行各業(yè)迅猛發(fā)展，山東各地的光電產(chǎn)業(yè)也乘勢(shì)而上，信息光電、激光加工、激光全息、光電傳感等產(chǎn)業(yè)技術(shù)日益成熟，多地加快建設(shè)產(chǎn)業(yè)園區(qū)，以集群之勢(shì)推動(dòng)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

　　10月27日，在位于棗莊的東方光源集團(tuán)智光通信產(chǎn)業(yè)園三期項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)，鱗次櫛比的廠房在秋日陽(yáng)光下格外耀眼。生產(chǎn)車間內(nèi)，工人們正忙著調(diào)試各種生產(chǎn)設(shè)備�！敖酉聛�(lái)進(jìn)行生產(chǎn)工藝調(diào)試，預(yù)計(jì)年底投產(chǎn)�！比A光科技光芯棒生產(chǎn)基地總經(jīng)理王檣說(shuō)。總投資30億元的智光通信產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目分三期建設(shè)，三期項(xiàng)目主產(chǎn)智能光網(wǎng)絡(luò)用特種光纜及光芯棒。

　　光纖是信息產(chǎn)業(yè)的重要傳輸載體，而光纖90%以上的性能由光纖預(yù)制棒決定。東方光源集團(tuán)作為棗莊通信產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)，擁有光纖、光纜產(chǎn)業(yè)制造基地，但在產(chǎn)業(yè)鏈上游光纖預(yù)制棒制造環(huán)節(jié)上一直存在缺失。為彌補(bǔ)這一短板，東方光源集團(tuán)采用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型工藝，與通鼎互聯(lián)信息股份有限公司合作建設(shè)華光科技光芯棒項(xiàng)目，可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)光芯棒400噸。

　　“產(chǎn)業(yè)園建成后，東方光源將成為集光纖預(yù)制棒、光纖、光纜等相關(guān)產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)為一體的全產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)�！睎|方光源集團(tuán)董事長(zhǎng)張坤說(shuō)，三期項(xiàng)目中的特種光纜產(chǎn)品為5G量身定制，廣泛應(yīng)用于通信、航天、化工、石油等領(lǐng)域。

　　當(dāng)前，棗莊高新區(qū)把光電產(chǎn)業(yè)作為園區(qū)“鋰光醫(yī)智大”產(chǎn)業(yè)集群的重要組成部分，產(chǎn)品類型從傳統(tǒng)的石英光纖光纜、光通信器件逐步擴(kuò)展到光通信、光顯示、光存儲(chǔ)等領(lǐng)域，“纖芯網(wǎng)屏端”光電信息產(chǎn)業(yè)鏈不斷補(bǔ)強(qiáng)，線纜全產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)痉缎��?yīng)、光電特色產(chǎn)業(yè)集群式發(fā)展已初步形成。目前，全區(qū)現(xiàn)有規(guī)模以上光電類工業(yè)企業(yè)8家，1—8月光電產(chǎn)業(yè)鏈營(yíng)收10.24億元，同比增長(zhǎng)45.54%。

　　光電產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系的“關(guān)鍵少數(shù)”，是新一輪科技革命的必爭(zhēng)之域。位于淄博高新區(qū)齊魯智能微系統(tǒng)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)基地的山東申華光學(xué)科技有限公司，專注于鈮酸鋰薄膜技術(shù)及其潛在的集成光子學(xué)系統(tǒng)的創(chuàng)新研發(fā)。“傳統(tǒng)的體材料鈮酸鋰晶體光學(xué)器件往往尺寸比較大，難以滿足光學(xué)器件趨于小型化、集成化的需求。我們通過(guò)‘離子切片’的方式，從塊狀的鈮酸鋰晶體上剝離出鈮酸鋰薄膜，并鍵合到附有二氧化硅緩沖層的硅晶片上，形成薄膜鈮酸鋰材料�！惫�司總經(jīng)理李志華拿起一個(gè)小小的芯片向記者展示。

　　山東申華光學(xué)科技有限公司主要從事光學(xué)元器件的設(shè)計(jì)、研發(fā)和生產(chǎn)�！氨∧も壦徜囍苽湓�先存在晶體損傷、粗糙度大、以及成本高等痛點(diǎn)，我們的CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)法不僅可以使晶體不受損傷，降低薄膜表面粗糙度，而且工藝簡(jiǎn)單，有效降低了制備成本。”目前，該公司已成功實(shí)現(xiàn)納米級(jí)厚度薄膜鈮酸鋰CMP法直接制備。

　　今年以來(lái)，淄博市光電子產(chǎn)業(yè)鏈“四上”企業(yè)營(yíng)業(yè)收入同比增長(zhǎng)32.8%，已形成以光通信為標(biāo)志，涵蓋光學(xué)晶體、新型顯示、智能終端、集成電路等多領(lǐng)域的特色產(chǎn)業(yè)。目前，淄博高新區(qū)正展開(kāi)細(xì)分產(chǎn)業(yè)鏈重點(diǎn)企業(yè)調(diào)研，結(jié)合光電子產(chǎn)業(yè)鏈上中下游發(fā)展實(shí)際，梳理出一批具有較強(qiáng)系統(tǒng)集成能力、較高市場(chǎng)占有份額、重要產(chǎn)業(yè)拉動(dòng)作用的企業(yè)作為鏈主企業(yè)，支持鏈主企業(yè)做優(yōu)做大，將光電子產(chǎn)業(yè)鏈的招商重點(diǎn)向微波通信、光纖傳感等領(lǐng)域傾斜，聚力打造光電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展高地。

　　作為山東省推動(dòng)智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動(dòng)計(jì)劃兩大重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目之一的煙臺(tái)光電傳感產(chǎn)業(yè)園，同樣聚焦壯大產(chǎn)業(yè)鏈。

　　該園區(qū)以全國(guó)首批、全省首家科創(chuàng)板上市企業(yè)睿創(chuàng)微納為龍頭，建設(shè)光電傳感全產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新孵化園區(qū)，重點(diǎn)培育聚集紅外傳感器、器件、模組、終端整機(jī)等光電產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)和項(xiàng)目。據(jù)介紹，未來(lái)五年，產(chǎn)業(yè)園將聚集上下游企業(yè)150家以上，十年達(dá)到400家以上，年產(chǎn)值突破700億元。(楊淑棟 孟令洋 栗晟皓 從春龍)(王敏敏 趙健健 參與采寫)(完)