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硬科技落地 山東打造8英寸碳化硅襯底生產(chǎn)基地
2024年03月25日 16:54 來源:科技日報

  “朋友圈”發(fā)力 硬科技落地——山東打造8英寸碳化硅襯底生產(chǎn)基地

  ◎本報記者 王延斌

  3月20日,廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(以下簡稱“南砂晶圓”)計劃在距離廣州大本營1800公里之外的濟(jì)南,打造全國最大的8英寸碳化硅襯底生產(chǎn)基地。這與山東省委省政府頂層設(shè)計、產(chǎn)業(yè)布局以及招商者魯信創(chuàng)業(yè)投資集團(tuán)股份有限公司(以下簡稱“魯信創(chuàng)投”)密切相關(guān)。

  核心競爭力引來“合伙人”

  碳化硅是制作高溫、高頻、大功率高壓器件的理想材料之一。“碳化硅襯底可突破傳統(tǒng)硅基半導(dǎo)體器件及其材料的物理極限,開發(fā)出新一代半導(dǎo)體器件!蹦仙熬A董事長王垚浩表示,碳化硅功率器件在新能源汽車中的滲透率正在快速提升。

  在需求驅(qū)動下,國內(nèi)各地已涌現(xiàn)出一批優(yōu)質(zhì)企業(yè)。在碳化硅襯底賽道上,創(chuàng)業(yè)者一方面擁抱爆發(fā)的市場需求,另一方面挑戰(zhàn)材料質(zhì)量、工藝難度、良品率等技術(shù)難題和壁壘。

  2018年,依托山東大學(xué)晶體材料研究院徐現(xiàn)剛教授團(tuán)隊(duì)的科研成果,南砂晶圓在廣州成立。此后,該企業(yè)突破了碳化硅單晶生長及襯底制備技術(shù)。但此領(lǐng)域的競爭,光有突破性技術(shù)還不夠,高投入也是一道門檻。

  “僅一臺加工或檢測設(shè)備便高達(dá)千萬元!蓖鯃惡普f。手握技術(shù),資金何來?魯信創(chuàng)投帶著“朋友圈”出現(xiàn)了!皠(chuàng)新能力突出、成長空間可觀”,這是魯信創(chuàng)投副總經(jīng)理葛效宏對南砂晶圓的評價。近年來,魯信創(chuàng)投對半導(dǎo)體尤其是碳化硅行業(yè),早已進(jìn)行了涵蓋核心耗材、襯底生產(chǎn)等全產(chǎn)業(yè)鏈布局。

  2021年5月,魯信創(chuàng)投成為南砂晶圓A輪融資領(lǐng)投方,投資逾億元。在魯信創(chuàng)投全力支持下,南砂晶圓的成果加速迭代——2021年,啟動導(dǎo)電型襯底研發(fā);2022年,行業(yè)率先研發(fā)出8英寸襯底并完成客戶驗(yàn)證;2023年,導(dǎo)電型襯底進(jìn)入批量供貨階段。

  “產(chǎn)業(yè)+企業(yè)+地方”朋友圈越變越大

  如何迅速提升產(chǎn)能,打破碳化硅襯底“一片難求”的供給現(xiàn)狀?這是王垚浩和“合伙人”魯信創(chuàng)投共同面對的問題。

  “高質(zhì)量招商引資是建設(shè)現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系的有效路徑,是鞏固和增強(qiáng)經(jīng)濟(jì)回升向好態(tài)勢的關(guān)鍵舉措,是增強(qiáng)發(fā)展后勁的有力抓手!痹诮衲辍靶麓旱谝粫鄙,山東省委書記林武表示。

  彼時,山東省做出規(guī)劃,明確要“打造百億級國家第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高地”,并向業(yè)界發(fā)出了“邀請函”。

  “我們?nèi)虆⑴c了南砂晶圓擴(kuò)產(chǎn)計劃的醞釀、討論、調(diào)研及最后敲定,第一時間掌握消息”。葛效宏團(tuán)隊(duì)評估后認(rèn)為,山東有產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)與潛力,引入南砂晶圓,將實(shí)現(xiàn)多贏。

  為了在產(chǎn)業(yè)需求、企業(yè)訴求、地方要求上打造一個共贏方案,魯信創(chuàng)投邀請南砂晶圓加入了山東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“朋友圈”。

  得益于魯信創(chuàng)投的全產(chǎn)業(yè)鏈資源,南砂晶圓在濟(jì)南新注冊成立了山東中晶芯源半導(dǎo)體科技有限公司,能夠?qū)痈嚓P(guān)鍵材料提供方及上下游供應(yīng)商,使其99%的原材料、95%的主要設(shè)備實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化。

  “目前,我們90%以上的資金投入‘硬科技’領(lǐng)域,已成功培育了一批新材料、高端制造等領(lǐng)域的行業(yè)龍頭企業(yè)!濒斝艅(chuàng)投黨委書記、董事長王旭冬表示,下一步我們將圍繞山東產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)有基礎(chǔ)及戰(zhàn)略布局,對接更多龍頭企業(yè)、重點(diǎn)工業(yè)企業(yè)來山東投資。(王延斌)

編輯:孫婷婷